ВК радыёчастотнае плазменнае абсталяванне

LCD RF Plasma Equipment - гэта высокапрадукцыйная-сістэма, распрацаваная для апрацоўкі паверхні LCD, OLED і іншых матэрыялаў для плоскіх дысплеяў. Ён прызначаны для задавальнення строгіх патрабаванняў сучаснай вытворчасці, дзе стабільная апрацоўка і высокая прапускная здольнасць аднолькава важныя. Агульныя памеры сістэмы 880 мм × 790 мм × 1710 мм з памерам вакуумнай камеры 450 мм × 450 мм × 450 мм. Кожная электродная пласціна мае памеры 410 мм × 430 мм, і за адзін цыкл можна апрацоўваць да пяці слаёў субстратаў.

 

З функцыянальнага пункту гледжання абсталяванне забяспечвае-зручны HMI, які дазваляе непасрэдна наладжваць ключавыя параметры працэсу, такія як ВЧ-выхадная магутнасць, працягласць вакуумнай адпампоўкі, асобныя сегменты апрацоўкі і расход газу. Гэтыя налады могуць быць хутка зменены для адаптацыі да розных матэрыялаў або тэхналагічных патрабаванняў, забяспечваючы гнуткасць і паслядоўнасць для прамысловых аперацый.

Сістэма падачы газу падтрымлівае тры незалежныя каналы і можа апрацоўваць азот (N₂), аргон (Ar), вадарод (H₂) і кісларод (O₂). Расходомеры адкалібраваны ў дыяпазоне 0–200 мл/хв, з дакладнасцю кантролю, утрымліваючы ваганні ніжэй за 5%. Усе асноўныя пнеўматычныя кампаненты пастаўляюцца SMC, а ўшчыльненне камеры абапіраецца на трывалыя фтор-гумовыя пракладкі, што забяспечвае-доўгую стабільнасць у цяжкіх умовах. Плазма генеруецца з дапамогай сама-адаптыўнага радыёчастотнага крыніцы сілкавання, які працуе на частаце 13,56 МГц, з максімальнай магутнасцю 1 кВт, што гарантуе надзейную дастаўку энергіі для аднастайнай апрацоўкі.

Канструктыўна камера выраблена з нержавеючай сталі высокай-чысціні 304 для мінімізацыі акіслення і карозіі. У сістэме выкарыстоўваецца падвойнае -ўшчыльненне для цэласнасці вакууму, у той час як медныя трымальнікі электродаў у задняй частцы камеры фіксуюць гарызантальныя электродныя пласціны з дапамогай некалькіх шрубавых замкаў, паляпшаючы стабільнасць і перадачу энергіі. Дадатковыя бакавыя апоры дадаткова ўзмацняюць электроды. Вакуумны баланс быў аптымізаваны: клапан хуткага-выпуску дазваляе выраўнаваць ціск на працягу 5–10 секунд, скарачаючы час прастою і павялічваючы прадукцыйнасць.

Для забеспячэння бяспекі працы машына абсталявана сістэмай сігналізацыі аб няспраўнасці. Ён рэгіструе дату, час і прычыну любой ненармальнай падзеі, у той час як аўтаматычнае адключэнне запускаецца для абароны камеры і нарыхтовак.

З пункту гледжання прымянення, гэта абсталяванне шырока распаўсюджана для працэсаў запаўнення-чыпаў. Плазменная ачыстка перад запаўненнем значна ўзмацняе актывацыю паверхні, паляпшае змочвальнасць і павышае адгезію паміж падкладкай і герметыкам. У выніку гэта не толькі паляпшае якасць упакоўкі, але таксама павышае-доўгую надзейнасць удасканаленых дысплеяў і паўправадніковых зборак.

гарачыя тэгі: LCD радыёчастотнае плазменнае абсталяванне, Кітайскія вытворцы радыёчастотнага плазменнага абсталявання LCD, завод