Структура ачышчальніка плазмы

Структура плазменнага ачышчальніка складаецца з трох асноўных кампанентаў: блока кіравання, вакуумнай камеры і вакуумнага помпы. Давайце абмяркуем гэтыя тры кампаненты:
1. Блок кіравання
Плазменныя ачышчальнікі, якія выкарыстоўваюцца ў Кітаі, у тым ліку імпартныя, маюць блокі кіравання з чатырма асноўнымі тыпамі: паў-аўтаматычны, цалкам аўтаматычны, з-кіраваннем ПК і сэнсарны ВК-экран.
Далей блок кіравання дзеліцца на дзве асноўныя часткі:
1) Электрасілкаванне: існуе тры асноўныя частоты сілкавання: 40 кГц, 13,56 МГц і 2,45 ГГц. Блок харчавання 13,56 МГц патрабуе адаптара сілкавання.
2) Блок кіравання сістэмай: існуе тры тыпы: кіраванне кнопкай- (паў-аўтаматычнае і цалкам аўтаматычнае), кіраванне кампутарам і кіраванне ПЛК (сэнсарны ВК-экран).
2. Вакуумная камера:
Вакуумныя камеры ў асноўным вырабляюцца з двух матэрыялаў:
1) Вакуумная камера з нержавеючай сталі.
2) Кварцавая камера.
3. Вакуумны помпа:
Вакуумныя помпы дзеляцца на два тыпу:
1) Сухі помпа.
2) Масляны помпа.