Канкрэтнае прымяненне плазменных ачышчальнікаў

Машыны для плазменнай ачысткі/тручэння генеруюць плазму шляхам размяшчэння двух электродаў у герметычным кантэйнеры для стварэння электрычнага поля. Для падтрымання пэўнага ўзроўню вакууму выкарыстоўваецца вакуумная помпа. Калі газ становіцца ўсё больш разрэджаным, адлегласць паміж малекуламі і свабодны рух малекул або іёнаў таксама павялічваюцца. Пад дзеяннем электрычнага поля гэтыя іёны сутыкаюцца і ўтвараюць плазму. Гэтыя іёны вельмі рэакцыйныя, з дастатковай энергіяй, каб разарваць амаль усе хімічныя сувязі, выклікаючы хімічныя рэакцыі на любой адкрытай паверхні. Розная газавая плазма мае розныя хімічныя ўласцівасці. Напрыклад, кіслародная плазма моцна акісляе, здольная акісляць фотарэзіст для атрымання газу, такім чынам дасягаючы ачышчальнага эфекту. Плазма каразійнага газу мае выдатную анізатрапію, якая адпавядае патрабаванням тручэння. Апрацоўка плазмай стварае свячэнне, адсюль і назва тлеючы разрад.
Механізм плазменнай ачысткі абапіраецца галоўным чынам на «актывацыю» актыўных часціц у плазме для выдалення паверхневых плям. З пункту гледжання механізму рэакцыі ачыстка плазмы звычайна ўключае наступны працэс: неарганічныя газы ўзбуджаюцца ў стан плазмы; газападобныя рэчывы адсарбуюцца на цвёрдай паверхні; адсарбаваныя групы рэагуюць з малекуламі на цвёрдай паверхні з адукацыяй малекул прадукту; малекулы прадукту распадаюцца на газавую фазу; і рэшткі рэакцыі выдаляюцца з паверхні.

Найбольш важнай асаблівасцю тэхналогіі плазменнай ачысткі з'яўляецца тое, што яна можа апрацоўваць любы тып падкладкі, уключаючы металы, паўправаднікі, аксіды і большасць палімерных матэрыялаў, такіх як поліпрапілен, поліэстэр, поліімід, полівінілхларыд, эпаксідная смала і нават політэтрафтарэтылен. Ёю можна ачысціць як усю паверхню, так і асобныя ўчасткі, а таксама складаныя канструкцыі.